
碳/碳復(fù)合材料相比于石墨產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)-2
發(fā)布時(shí)間:
2022-04-28
用做拉單晶硅的坩堝時(shí),由于石英坩堝對(duì)石墨坩堝產(chǎn)生較大的膨脹應(yīng)力作用,石墨坩堝需要做成三瓣,或在坩堝上開熱膨脹槽;而使用碳/碳復(fù)合材料的加熱爐內(nèi)產(chǎn)品由于不需要開熱膨脹槽,可以做成一個(gè)整體,并且在石英坩堝內(nèi)可以獲得均勻的熱場(chǎng),提高了成品率,而且可以避免漏硅事故造成的損失。
用做拉單晶硅的坩堝時(shí),由于石英坩堝對(duì)石墨坩堝產(chǎn)生較大的膨脹應(yīng)力作用,石墨坩堝需要做成三瓣,或在坩堝上開熱膨脹槽;而使用碳/碳復(fù)合材料的加熱爐內(nèi)產(chǎn)品由于不需要開熱膨脹槽,可以做成一個(gè)整體,并且在石英坩堝內(nèi)可以獲得均勻的熱場(chǎng),提高了成品率,而且可以避免漏硅事故造成的損失。
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